Silizium-Stabstückvermessungsanlage

Zur Waferherstellung werden monokristalline Siliziumstabstücke benötigt. Vor der Bearbeitung und zur nachgelagerten Qualitätskontrolle werden diese Stabstücke vermessen. Die Identifizierung der Stäbe erfolgt mittels Barcode. Der Durchmesser wird mit blauem LED-Lichtvorhang und entsprechendem CCD-Messfeld ermittelt. Sonstige Geometriemerkmale werden mit Laser vermessen; deren Lage und Position mit hochgenauen Längen- und Winkelmesssystemen erfasst.

Die Steuerung der Anlage erfolgt mit der ALPHA-VISION®-SoftPLC; die Bedienung mit dem Prozessleitsystem ALPHA-VISION®-VISUalisierung.
Die Auswertung der erfassten Messdaten erfolgt sofort online. Hier erweist sich die problemlose Integration mathematischer Algorithmen in die SoftPLC von Vorteil.

Zur Speicherung und Weiterverarbeitung der Kenndaten wurde eine Schnittstelle zum unternehmensweiten Intranet geschaffen.